Augstas tīrības titāna izsmidzināšanas mērķi

 

 

Augstas tīrības pakāpes titāna izsmidzināšanas mērķi ir izsmidzinošs pārklājuma mērķi, kas izgatavoti no augstas tīrības titāna vai titāna sakausējumiem ar tīrību no 99,9% līdz 99,9999%.

Tos galvenokārt izmanto pusvadītāju ražošanā, plakano paneļu displejos, dekoratīvā pārklājumā un vakuuma aprīkojuma iesūkšanas laukos.

Tās galvenie veiktspējas rādītāji ietver tīrību, blīvumu (4,506-4,51 g/cm³), graudu lielumu (mazāks vai vienāds ar 50 μm) un piemaisījumu kontroli, kam jāatbilst tādiem vietējiem un starptautiskiem standartiem kā ASTM un ISO.

 

Titāna mērķi tiek izmantoti integrētās shēmās, lai nogulsnētu barjeru slāņus, piemēram, titāna-silikonu savienojumus un titāna slāpekļa savienojumus, ar tīrību 4n5-6n, lai izpildītu 0,18 μm un izsmalcinātāku procesu prasības.

 

Dekorēšanas jomā magnetrona stiepli var izmantot, lai sagatavotu dažādus krāsu plēves slāņus, un vakuuma pārklājuma īpašības ir gan augsta adhēzija, gan izturība pret koroziju.

Turklāt titāna mērķi ir piemēroti tādos scenārijos kā medicīniskie implanti un kosmiskās aviācijas pārklājumi, ņemot vērā to priekšrocības, kas saistītas ar vieglu un bioloģiski saderīgu.

Produkta specifikācijas aptver diametru, sākot no 50 līdz 400 mm un biezums no 3 līdz 28 mm, un atbalsta pielāgotas prasības, piemēram, vara aizmugures mērķu saistīšana ..

 

 

1) tīrība

Tomēr praktiskos pielietojumos mērķa materiālu tīrības prasības ir atšķirīgas. Piemēram, strauji attīstoties mikroelektronikas rūpniecībai, silīcija vafeļu lielums ir attīstījies no 6 "un ​​8" līdz 12 ", savukārt elektroinstalācijas platums ir samazinājies no 0,5um līdz 0,25um, 0,18um un pat 0,13um. Iepriekš mērķa tīrība ir 99,99%. 99,999% vai pat 99,9999%.

 

2) Piemaisījumu saturs

Piemērojumi cietā mērķa materiālā un skābekļa un ūdens tvaiki porās ir galvenie nogulsnētās plēves piesārņojuma avoti. Prasības dažādiem piemaisījumiem ar mērķa materiālu saturu dažādiem lietojumiem arī atšķiras. Piemēram, tīriem alumīnija un alumīnija sakausējuma mērķiem, ko izmanto pusvadītāju nozarē, ir īpašas prasības sārmu metālu un radioaktīvo elementu saturam.

 

3) blīvums

Lai samazinātu cietā mērķa materiāla porainību un uzlabotu izsmidzinātās plēves veiktspēju, parasti ir nepieciešams, lai mērķa materiālam būtu salīdzinoši augsts blīvums. Mērķa materiāla blīvums ne tikai ietekmē stieples ātrumu, bet arī ietekmē filmas elektriskās un optiskās īpašības. Jo augstāks ir mērķa materiāla blīvums, jo labāka filmas izrāde. Turklāt, palielinot mērķa materiāla blīvumu un izturību, tas ļauj labāk izturēt termisko spriegumu. Blīvums ir arī viens no galvenajiem mērķa materiālu veiktspējas rādītājiem.

 

4) Graudu lieluma un graudu lieluma sadalījums

Parasti mērķa materiālam ir polikristāliska struktūra, un graudu lielums var svārstīties no mikrometriem līdz milimetriem. Tam pašam mērķa materiālam mērķa ar smalkiem graudiem izsmidzināšanas ātrums ir ātrāks nekā mērķa ar rupjiem graudiem. Plēvju biezuma sadalījums, kas nogulsnēts, ar mērķa sprādzienu ar mazākām graudu lieluma atšķirībām (vienmērīgs sadalījums) ir vienveidīgāks.

 

 

 

A. Titāna mērķa materiālu velmēšanas un kalšanas procesi

Karsto ritēšanu un aukstu ritēšanu izmanto, lai apstrādātu titāna materiālus nepieciešamajos izmēros un formās.

Kalšanas process uzlabo mērķa materiāla mehānisko izturību un iekšējo vienveidību, uzlabojot materiāla graudu struktūru.

 

B. Virsmas pulēšana un ārstēšana

Virsmas pulēšana nodrošina, ka mērķa materiālam ir laba virsmas apdare, un tas samazina nevienmērīgumu.

Virsmas apstrāde (piemēram, oksīda skalas noņemšana un smalka slīpēšana) var uzlabot stuterizācijas daļiņu vienmērīgu izdalīšanos, tādējādi uzlabojot pārklājuma kvalitāti.

 

 

1. Mērķa materiālu tīrības pārbaude

Spektrālās analīzes instrumenti tiek izmantoti, lai noteiktu piemaisījumu komponentus (piemēram, slāpekli, skābekli, dzelzi utt.) Titāna mērķa materiālos, lai nodrošinātu, ka to tīrība sasniedz virs 99,9%.

 

2. Fiziskā parametru noteikšana

Blīvuma tests: mērķa materiāla blīvumu mēra ar ūdens pārvietošanas metodi, lai noteiktu, vai iekšpusē ir poras.

Virsmas raupjuma tests: novērtējiet mērķa materiāla virsmas līdzenumu, izmantojot lāzera interferometru.

Stiprinājuma pārbaude: pārliecinieties, ka mērķa materiāla mehāniskās īpašības atbilst stiepšanās prasībām, izmantojot stiepes testus un cietības testus.

 

 

 

Populāri tagi: Augstas tīrības titāna izsmidzināšanas mērķi, Ķīna Augstas tīrības titāna sputtera mērķu ražotāji, piegādātāji, rūpnīca